연구 성과

출원번호

제10-2016-0086629호

발명의 명칭

지르코늄 박막 형성용 전구체 조성물 및 이를 이용한 지르코늄 박막의 형성 방법

출원번호

제10-2019-0051291호

발명의 명칭

신규한 실리콘 전구체 화합물 및 이를 이용한실리콘 함유 박막의 제조방법

출원번호

제10-2019-0124471호

발명의 명칭

알킬아미노실란 화합물의 제조방법

출원번호

제10-2017-0047394호

발명의 명칭

신규한 텅스텐 전구체 화합물 및 이를 이용한 박막 형성 방법

출원번호

제10-2016-0148313호

발명의 명칭

탄탈륨 박막 형성용 전구체 화합물 및 이를 이용한 탄탈륨 박막의 형성방법

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